Точность – способность анализатора давать точную информацию о m/z. Точность в большой степени зависит от устойчивости прибора и от разрешения. Например, прибор с точностью 0.01% даёт информацию о 1000 Да пептиде с точностью ±0.1 Да, а для 10000 Да белка - ±1.0 Да. Точность серьёзно меняется от анализатора к анализатору в зависимости от типа анализатора и разрешения. Альтернативным способом описания точности является использование терминологии «части на миллион» (ppm), в которой 1000 Да пептид с точностью ±0.1 Да может быть также описан как 1000.00 Да пептид ±100 ppm.